二手 SEMITOOL SST-C-421-280 #293813036 待售

SEMITOOL SST-C-421-280是一种光刻设备,用于满足下一代半导体、高级显示器和集成电路制造对更高分辨率和更高特征密度的日益增长的需求。该系统具有与Teradyne的Automated Optical Inspection （AOI）系统完全兼容的高级光学封装。它被设计用来在当今高度微型印刷电路板的光掩模、阻抗和互连层中精确地曝光和开发非常精细的分辨率。SEMITOOL SSTC421280拥有一个可逆的光柱，允许晶圆对准和定位，提供可重复的超高性能和无与伦比的吞吐量。电镀（EP）的应用提高了电导率,提高了产量.先进的光学组件能够非常精确地调整焦点,而不会出现错位和可重复的高通量扫描。四顶光学单元修正边缘畸变和错误的图像形成，消除了可以降低光刻胶图像质量的误差。集成电机驱动快门机将曝光时间缩短至精确规格，并消除光散射，从而有助于产生更高分辨率的特性。SST C-421-280配备了单夹具或双夹具的工艺托盘选择。它的一系列工艺配置允许高密度和低密度基板的精确集成，而大的机器人容量可以同时容纳厚膜和薄膜抗蚀层。该装置还得益于内置的空气过滤工具，该工具可清除污染物和粉尘颗粒，进一步提高模式清晰度和特征定义。高真空室通过确保在加工周期中保持必要的高质量底物和抗蚀剂水平，进一步有助于减少工艺漂移并促进高效运行。凭借其先进的光学封装、令人印象深刻的电机驱动快门资产和多用途的工艺托盘选择,SST-C-421-280不仅能够满足当今日益苛刻的制造需求。其高效的运营和卓越的性能使其成为希望保持领先地位的制造商的理想选择。