二手 SEMITOOL SST-C-421-280 #9144801 待售

SEMITOOL SST-C-421-280是一种全自动光刻设备，由两个处理室组成，能够在一个负载下处理多达161个晶圆，可以作为单室或两室系统工作。加工室采用回火不锈钢结构，具有可调的3区精密控制器和工艺计时器，以优化热均匀性和整体单元吞吐量。第一室采用高收益低失真折叠透镜（VFL）扫描仪的照片成像轨道，以实现最佳的晶片覆盖。此扫描仪在晶片表面上以每秒7至60毫米的速度移动,以实现最大的精度和吞吐量。成像机的加工头可在600mm至600 mJ/cm之间²以便更好地控制图像边缘轮廓和立管。这条轨道还具有可调的加热空间，处理时间长达60分钟，非常适合对更长的晶圆结构进行成像。为了获得最大的柔韧性，第二室能够启动单晶片浸入和喷雾发展循环。浸入式开发工具包括高度控制平台（HCP）和喷射泵迭加,可最大程度地减少零件损坏并提供卓越的零件覆盖范围。HCP在Z轴可调0.2至4厘米，用于控制零件通量，与包括H2O2、磷酸等在内的多种溶剂兼容。设计了喷雾显影设备，以实现最佳的精度和可重复性，并提供了一个最小的变形和零件损坏的优越的平整轮廓。它允许喷嘴在X和Y两个方向上移动，实现圆形或x-y-z喷涂，每个晶圆最多可输送五个喷雾发展循环。最后,该模型还提供了一个可选的单片干燥机（MWD）.这款功能强大但节能的烘干机利用多个热散热器，将晶圆均匀加热至90°C的温度，达到最高温度均匀性和低热应力。总之，SEMITOOL SSTC421280是一种全自动光刻设备，设计提供最大的灵活性和最佳的精度。其双加工室的设置非常适合在一个负载下处理多达161个晶片,而其高收益低失真的折叠透镜扫描仪、浸入式显影系统和单晶片烘干机都有助于以最小的零件损坏提供优异的效果。