二手 SEMITOOL SST-C-621-270-P #9409098 待售
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ID: 9409098
优质的: 1996
Spray solvent tool
Cabinet: Stainless steel, Thru the wall, Class 1
(4) Heated tanks
(2) IPA Tanks
270 Bowl (Accommodates 6" substrate-low profile)
Encapsulated ferro fluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
Dedicated TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
1996 vintage.
SEMITOOL SST-C-621-270-P Photoresist Equipment是一种顶级的光刻胶处理解决方桉,提供无与伦比的质量、性能和可靠性。SEMITOOL独特的功能专为各种应用而设计,使其成为各地光刻专家的首选。SST-C-621-270-P具有大型液体处理系统,该系统经过优化,可最大限度地减少浪费并降低后端成本,同时仍可提供高水平的生产率和吞吐量。该装置还具有无污染储存机、高效过滤以及粗细分配阀，以提高准确性和可重复性。将光刻胶液压输送到应用点，实现技术先进、性能可控。该工具采用高精度、低容量真空资产，有助于将颗粒计数保持在最低限度，并防止来自外部来源的污染。该模型还为温度敏感过程提供了温度稳定的腔室，提高了环境稳定性。闭环热控制设备可确保关键光敏处理步骤的温度正确。SEMITOOL SST-C-621-270-P还具有集成的过程控制系统,该系统允许用户在过程配方之间进行切换,监视当前结果,并只需单击几次即可调整参数。该单元允许用户在不同的处理周期之间移动，而不必重新启动系统，同时也有助于提高效率和减少不同光刻胶处理步骤之间的可变性。SST-C-621-270-P是光敏用户的一站式解决方桉。其特点与可靠性能相结合，是光刻胶市场精度要求的理想选择。SEMITOOL SST-C-621-270-P凭借其性价比、高品质的性能、提高的环境稳定性，成为各行业光刻加工专业人士的首选产品。
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