二手 SEMITOOL SST-C-621-270 #9177160 待售

SEMITOOL SST-C-621-270是为半导体应用开发的光刻设备。它被设计用于涉及用光致抗蚀剂处理晶片的各种工艺流程。该系统提供高流程重复性、高吞吐量和可靠性以及低维护要求。该单元由一个621通道的电控分配歧管组成，提供精确准确的流量控制。这允许对输送到晶圆表面的化学品进行严格的工艺控制。加工室可同时装载晶片和单件石英船，以便将化学品大量运入机器。该工具还配备了双温度控制模块，以实现对光刻胶溶液的精确温度控制，并最大限度地减少工艺的可变性。该资产还具有270个位置的旋转卡盘，为执行精密工艺提供了一个稳定的平台，包括旋转涂层、预软烘烤和后显影。使用位于真空卡盘上方的UV灯快速干燥光刻胶层。为了安全起见，该模型包括紧急关闭和车载排气设备，以控制任何危险空气传播颗粒的释放。最后但并非最不重要的一点是,SST-C-621-270具有图形用户界面（GUI）,以使用户能够查看和控制系统。GUI使设备易于操作,并允许用户快速设置和监视机器以优化其流程。总之，SEMITOOL SST-C-621-270是一种高效、可靠、用户友好的光刻胶工具，能够用光刻胶对晶片进行精确、精确的处理。