二手 SEMITOOL SST-C-621-280 #9360715 待售

SEMITOOL SST-C-621-280 Photoresist Equipment是一种最先进的多区、单室液体和干式半导体直列式加工工具,用于涂覆、开发和剥离光致抗蚀剂。该系统非常适合200毫米和300毫米湿法和干法生产线。它能够批量或小批量生产,旨在最大程度地减少停机时间,同时降低总体生产成本。SST-C-621-280装有全自动的干膜光刻装置，无需特殊设备即可处理。机柜封闭式机箱保持受控环境，确保最佳膜质量和均匀性。可以针对各种温度、速度、压力和化学参数配置独立的控制区。将干膜光刻胶装载到腔室的一组旋转工艺轮上，6个区域中的每一个都可根据特定工艺参数独立调节。SEMITOOL SST-C-621-280有一个专门的洗涤器/显影轮，用于在工艺周期结束时，去除多余的光刻胶溶液和颗粒。洗涤轮可调整为三种压力设置,可根据最终用户的特殊需要进行配置。光致抗蚀剂工具还包括一个专有的视觉检查资产，在每个处理周期后检查薄膜质量。这一检查过程有助于最大限度地减少批量和晶片对晶片的不一致，并且可以检测和识别粒子、光刻和加工缺陷。该模型的低温冷却功能可快速有效地冷却晶片,帮助减轻长时间加工造成的表面损坏。SST-C-621-280还配备了一些可选的高级功能,如工艺审查软件、等离子体预处理和自动循环集成。SEMITOOL SST-C-621-280旨在通过提供可靠的性能和高分辨率成像及薄膜厚度精度来帮助简化半导体生产。它是用于湿法或干法生产线的易于使用和高度精密的工具,能够大量生产,并在设备中内置质量控制参数。