二手 SEMITOOL SST-C-632-280-KM #9276685 待售

SEMITOOL SST-C-632-280-KM Photoresist设备是一个完整的湿式台式清洁和光刻处理解决方桉，用于设备制造要求。它旨在自动化晶片的制备、基板清洁、光刻涂层和开发过程，同时保持完整的过程控制。该系统具有自动基板传输和模块化、用户可配置的一系列过程步骤。SST-C-632-280-KM清洗单元由多个冲洗罐、一个表面活性剂清洗模块、DI冲洗水和一个用于水性或溶剂基清洁的工艺台组成。自动冲洗罐具有蠕动泵机，可以快速填充和排出水箱，同时向操作员提供性能反馈。表面活性剂清洁模块的设计是用酸、碱性和胺类表面活性剂的组合来清洁底物表面。该DI冲洗水提供超纯冲洗水最终清洁。该工具还包括一个用于将光敏材料施加到基板表面的抗蚀剂涂层。涂料是为可重复、均匀、厚度范围广的涂料而设计的。它可以配置用于旋转涂层、喷涂涂层或级联旋转涂层工艺。涂料具有先进的温度和流量传感器，以保持过程控制。开发资产包括用于预烤和后烤的集成热板、用于去除晶片残留光刻剂的冲洗和干燥站以及用于关键开发步骤的高精度温湿度控制轨道。可以设置灵活、用户可配置的开发过程序列,以优化过程控制。SEMITOOL SST-C-632-280-KM光电抗蚀剂模型是为使用领先的抗蚀剂材料的工作流而设计的，与现有和新的光掩模设备完全兼容。它提供了一个易于使用的界面与预编程的流程序列,以及创建自定义流程序列的能力。该设备为实现可重复、高质量的设备制造成果提供了可靠的平台。