二手 SEMITOOL SST-C-632-280 #293808351 待售

SEMITOOL SST-C-632-280是一种设计用于半导体晶圆加工的光刻设备。它支持每年高达40,000个4英寸晶圆的生产吞吐量,并为关键半导体器件制造提供了有效的低成本平台。SST-C-632-280是一个完全自动化的系统，以低维护成本和消耗品成本运行，并通过广泛的光刻胶和光刻工艺提供最高水平的可重复性和精确度。该单元具有3轴精密平移级和具有多轴扫描功能的6轴机械臂。SEMITOOL SST-C-632-280采用独特的无扫描仪配方开发机设计，使工具能够同时处理多个晶圆或平板。这种独特的特性允许光刻胶的均匀曝光，而无需任何特殊的离线对准。该资产还可以同步晶圆工艺，用于不同的光刻工艺和多重曝光。为确保可重复和可靠的结果,每个模型组件,包括晶片加载设备、处理器子系统、传输和对齐张紧器以及自旋卡盘加热器,都采用闭环操作设计。此外，该系统还具有闭环温度控制和集成真空尘埃过滤器的特点，可进一步保护晶圆表面。除了光掩模和光刻胶的开发外，SST-C-632-280还可以用于晶片的清洗、剥离和烘烤操作。该系统具有自动化学调节和剂量精度.可选的FM-Tune自动对焦单元进一步提高了分辨率和准确性。SEMITOOL SST-C-632-280光刻机是一种适用于各种半导体晶圆加工应用的可靠且经济高效的解决方桉。它能够处理大批量和小批量处理,并支持高分辨率的光掩码操作。该工具是快速可靠生产集成电路等高端半导体器件的绝佳选择。