二手 SEMITOOL SST-C-642-250 #293808353 待售
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SEMITOOL SST-C-642-250是为生产高精度结构而设计的光刻设备。它由SST-C类清洗系统和PE-B-300自旋涂层沉积单元两个部分组成。SST-C类清洁机设计用于制备用于光刻沉积的基板,确保在涂层之前彻底清洁所有表面。该工具可进行多种清洁操作,包括晶圆洗涤、溶液清洗、水性洗涤、溶剂清洗。该资产还具有高性能、高真空干燥室,以确保在使用光刻胶之前底物完全干燥。PE-B-300 Spin Coater用于在基板上涂抹光致抗蚀剂。它配有精密喷嘴,用于均匀涂覆基板表面。它还提供了对光敏沉积物的速度、温度和压力的精确控制。通过操纵这些变量,用户可以创建非常详细和统一的模式。SST-C类清洗模型和PE-B-300 Spin Coater共同构成了在各种基板上产生高精度特征的理想光刻设备。该系统用途广泛,可用于在金属、塑料和半导体表面上创建精细结构。该单元与各种光刻胶兼容,并提供出色的接触角控制,确保所创建的结构具有统一的性质。该机还能够通过控制光刻胶的粘度来改变蚀刻速率。SST-C-642-250操作简单、可靠性高、成本效益高。
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