二手 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279865 待售

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U是一种具有自动传送模块的光刻设备，旨在减少体力劳动并简化光刻过程。它为半导体晶圆的应用提供了自动化的光刻处理。该系统由几个模块组成，包括一个防光罐、一个湿板凳、一个预烤、一个旋转外套、一个曝光模块和一个后烘烤模块。光抗蚀剂罐是将光抗蚀剂液体添加到设备中的地方。湿式工作台负责为烘烤前和烘烤后模块提供动力和热量，以及填充光刻胶罐。Pre-Bake模块用于在Spin-Coat之前将晶圆表面加热到所需温度。Spin-Coat模块负责在晶圆表面上涂抹一层甚至更薄的光刻胶。"曝光"模块用于将晶片表面暴露于特定的紫外线能量,并为晶片表面提供所需的图样。并且在光致抗蚀剂曝光后，Post Bake模块负责加热晶片表面以固定晶片表面的图样。本机设计为提供一个简单、安全和自动化的光刻应用过程。它配备了安全互锁工具，防止操作员意外暴露在紫外线辐射下。它还带有一个用户友好的GUI（图形用户界面），这使得资产的操作非常简单。该型号还设计用于高效维护，并配有清洁材料套件和工具。总之，SST-C-6422-5060-U是一种高效、可靠的光刻设备，旨在减少体力劳动，简化半导体晶片的光刻工艺。它配备了安全联锁系统和人性化的GUI，设计方便维护。