二手 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279869 待售

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U是一种先进的光刻设备，设计用于大批量生产集成电路晶片和基板。该系统结合了先进的高吞吐量平台和可靠的长期流程以及严格的流程控制，从而实现了一致和可重复的生产。SST-C-6422-5060-U光刻装置包括一个全自动、集成的配置与先进的过程控制实时监控和调整设置。该机器有一个集成的400毫米加工船，50腔容量，允许最多400毫米的基材或晶片进行处理。这使得它非常适合高精度和可重复性的大批量生产基板或晶片。该工具采用获得专利的双区域平台设计,允许同时执行两个独立的流程,从而提供最大的流程效率和吞吐量。这种双区设计包括最高温度可达915 °C的高温区和最高温度可达190°C的低温区。两种不同的温度区结合先进的伺服驱动器和温度控制器，确保基板或晶片的精确和可重复的面向位置的烘烤。光致抗蚀剂资产还包括一个真空模型，有两个阶段，同时控制烘烤喘息和溶剂蒸气；烧蚀或软烧蚀工艺的选择；以及提供精确、可重复过程的专有掩模连接室设备。SEMITOOL SST-C-6422-5060-U还包括一个具有选择性扫描速度的高分辨率成像子系统以及用于精确、快速对准和检测功能的光学滤镜。SST-C-6422-5060-U带有先进的过程控制软件,允许实时调整诸如腔室温度、压力和旋转速率等参数。集成软件为现场人员提供最新的性能指标,以监测流程的有效性和稳定性。这样可以减少停机时间、减少报废和提高流程可重复性。总体而言,SEMITOOL SST-C-6422-5060-U光阻系统是一个超高吞吐量的生产平台,旨在提供一致的结果以及改进的过程重复性和控制。该机组获得专利的双区平台，支持高达400mm的晶圆，结合集成真空机、先进伺服驱动和工艺控制软件，为更高产量的道岔提供了更高的吞吐量。