二手 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279870 待售

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U光刻设备是为半导体芯片制造设计的集成工艺系统.该单元设计为用感光材料精确涂覆、软烘烤、显影、硬烘烤硅片。适用于各种光刻工艺，包括光刻、光刻、升空、焊料掩蔽、选择性蚀刻。光刻机模型SST-C-6422-5060-U由四个独立的晶片室组成：软烘烤、Coater、Developer和Hard-bake。每个会议厅都设在一个可容纳和维持受控环境的会议厅底座内。集成的淋浴头可确保晶片与光刻胶的涂层精确均匀。该工具还配备了加热器、冷却器、真空水平和排气能力。软烘烤室保持精确控制的温度和环境，以便在使用光刻胶之前对晶片表面进行准备。Coater Pump是一种精确的过滤设备，可确保光刻胶的涂层均匀一致。显影器室是温度控制的，允许光致抗蚀剂固化和聚合。硬烘烤室使用加热器来硬化软烘烤室和显影室期间施加的光刻材料。该模型还包括各种数字控制，包括易于导航的用于设备控制和编程的触摸屏。这使得可编程配方存储和检索与每个腔室的工艺参数精确到0.1%。系统还提供与SEMITOOL Design软件的完全连接,用于过程参数上载。SEMITOOL SST-C-6422-5060-U光刻装置具有精确化学输送的运动控制输送机、提供均匀涂层的高精度浮动喷嘴和高精度化学输送工具。该资产还提供工艺稳定性和底物均匀性与每次重复。综上所述，SST-C-6422-5060-U光刻胶模型是为半导体芯片制造而设计的精确、通用、用户友好的集成工艺设备。它能够用具有精确工艺参数的感光材料涂覆、软烘烤、显影和硬烘烤硅片，确保每次重复的准确性和一致性。