二手 SEMITOOL SST-C-742-280 #293808354 待售

SEMITOOL SST-C-742-280 Photoresist设备是一种湿蚀刻系统,设计用于处理石英、硅、陶瓷和其他薄膜材料等基材。该单元可提供快速可靠的蚀刻速率,并具有出色的均匀性,能够精确地进行蚀刻,从而⅔人的头发厚度。其集成的三牛罐式机床提供了用于清洁的温水DI，248nm的准分子UV光用于大多数光刻胶的开发，以及基底湿蚀刻化学。此外,它还包括一个自动控制工具,该工具运行热分析协议,以监视过程的每个阶段的蚀刻速率和端点检测。资产利用各种化学和环境选项,包括两步氧化物蚀刻工艺,该工艺可减少缺陷,同时提高吞吐量和准确性。它也与预清洁、脱落、氧化后冲洗相兼容。该平台还具有简单但坚固的设计,其坚固的机械组件可在整个模型使用寿命内提供较低的维护成本。用户可以在紫外线和湿蚀刻化学之间切换，而无需任何额外的机械调整。在安全特性方面，设备包括双缸设计的吹扫控制系统，在处理过程中提供最佳保护。控制软件易于配置,以确保安全和一致的操作,并具有基于时间的过程警报,从而最大程度地提高操作员的安全性。此外，该装置的设计是为了防止腐蚀性环境和泄漏，化学密封，自动关闭，和烟雾罩通风。该平台还配备了支持以太坊的安全管理模块，该模块与工厂数据系统进行交互，以实现最佳的流程可追踪性和预防危险事件。SST-C-742-280是一种经济高效且可靠的光刻胶解决方桉,最适合小型和大型生产运行。凭借其高精度、高效、安全的特点，该机非常适合各种蚀刻需求，为操作员提供了自信与安心。