二手 SEMITOOL SST-F-421-280-F #9276688 待售

SEMITOOL SST-F-421-280-F是一种光刻设备，设计用于精确控制硅晶片上集成电路的模式。该系统具有四轴门架和三轴台架,可提供精确阵列电路所需的精确对准。该龙门装有旋转涂层和晶片分配机器人，而该级能够精确控制晶片相对于旋转涂层的位置和分配机器人。光致抗蚀剂是一种对光敏感的化合物，应用于印刷的硅片，当暴露在光下时，会产生一个图桉化的电绝缘层，将电路彼此隔离。光致抗蚀剂单元采用高功率激光器、光学系统和先进控制算法的组合，对光致抗蚀剂的曝光进行精确控制。SEMITOOL SSTF 421280F机器还装有一个自旋处理器，它允许晶片高速旋转，从而在打印表面上形成薄薄的、均匀的光阻层。此外，该工具与湿式和干式光刻胶工艺兼容，允许它与各种光刻胶类型一起使用，如正音、负音和自然角。为辅助光刻胶工艺，该资产还包括若干工艺监控功能，如自动温度控制模型、用于均匀曝光的精密缝合器和表面污染监控器。此外，还包括一些质量保证和缺陷检测功能，如现场缺陷检查和综合工艺控制设备。制图过程完成后,系统可与光刻和蚀刻过程结合使用,以创建所需的电路模式。SST-F421-280-F单元提供的各种特性使其成为在硅片上精确阵列化精密集成电路的最有效解决方桉之一。