二手 SEMITOOL SST #293654402 待售

SEMITOOL SST
製造商
SEMITOOL
模型
SST
ID: 293654402
晶圆大小: 8"
Spray solvent tool, 8" Dual chamber.
SEMITOOL SST是一种用于半导体制造的光刻设备。这是一个将一种称为抗蚀剂的化学涂层与垂直旋转过程结合在一起的过程,以实现光刻效果,从而创建所需的设备级特征。垂直旋转是这一系统的关键,因为它在基板上形成更均匀的涂层,防止残留物堆积,提高孔线放置精度。SST用于现代光刻工艺,如薄膜晶体管(TFT)、互补金属氧化硅(CMOS)和半导体记忆电池。它具有可变的旋转速度、可调节的抗蚀性厚度和精确的抗蚀性喷雾图桉,使各种形状和尺寸的设备能够以最小的非均匀性创建。它的可重复性和准确性确保设备规格得到满足,而它的多功能性允许不同的过程只用一个单元来执行。SEMITOOL SST还设计用于与低粘度抗蚀剂兼容,允许更高的旋转速度和更高的分辨率,从而产生更准确可靠的设备级特性。该机配有可靠的耐溶剂手持式喷雾器和高压泵,可精确控制抗蚀剂厚度和流量。SST旨在最大程度地减少过度喷雾和污染,同时提供一种低维护工具,其可靠性超过了长期使用。其强大的多功能性、准确性和可靠性使得SEMITOOL SST在生产紧凑型晶体管、翻转芯片组件、3D集成电路和其他复杂的设备级制造项目方面具有无价的价值。
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