二手 SEMITOOL SST #9009453 待售
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ID: 9009453
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Spray solvent tool, 6"
System has non-heated isopropyl / Acetone tanks
Primarily acetone clean
Metal lift off
Develop type processes
Cart base: 30" x 22"
Tank: 18" x 20" x 13"
Level sensor
TREBOR 110 Diaphragm pump
Dual hand brakes
Liquid level sight display
Pump missing
Power: 208V, 40A, 3 Phase, 60Hz
1995 vintage.
SEMITOOL SST光阻设备是为微电子元件的精密模版设计的最先进的解决方桉。SST Photoresist System拥有先进的功能,可以创建高度精确的图样,用于制造复杂的PCB和其他亚微米电路组件。SEMITOOL SST光致抗蚀剂单元的工作原理是通过光模版将选择性暴露的光致抗蚀剂层施加到基板上。这一过程是通过将基板暴露在高强度光源下来完成的。根据光阻强度,可以使用电子束或紫外线光源。光源穿透光致抗蚀层,使分子硬化到底物上所需的图样。要创建模板,基板通过一个房间向上的输送机与传送带驱动基板沿曝光站。一旦光致抗蚀剂暴露在外,基材就会发展出一种相容的化学物质,以去除光致抗蚀剂的暴露区域。未暴露的区域将保持完整,从而在基板上创建所需的模式。开发后,将花纹基材在炉中加热,完成光刻机加工。炉子除去未曝光的部分,并留下所需的图样在基板上。SST Photoresist Tool包含许多关键功能,以确保一致的高质量结果。该资产具有可复制模版工艺的精确运动控制、用于精确曝光的高分辨率电动舞台以及易于使用的触摸屏界面。该型号还提供用于自动晶圆处理和封盖的可选模块。此外,SEMITOOL SST Photoresist Equipment软件是为高速制图技术而设计的,可实现快速设置和工艺优化。SST光阻系统是制造高复杂微电子元件的绝佳选择。通过将最新技术与用户友好的软件相结合,这种精密的光刻装置能够为各种基板产生高度可靠的亚微米图样。
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