二手 SEMITOOL SST #9359467 待售

SEMITOOL SST是由SEMITOOL, Inc.开发的最先进的光刻设备。该系统是一种自动化的光刻涂层，提供高精度、精确、可重复的抗蚀涂层和剥离。利用真空沉积和先进的光学工艺控制等先进技术，取得最佳效果。该单元包括三个主要组件：腔室、压缩机和计算机。这个房间是用不锈钢建造的.它由两个腔室组成，一个用于真空腔室，另一个用于薄膜沉积区域。一个集成的高精度溅射沉积仪控制膜沉积过程，允许对沉积速率和层均匀性进行精确控制。压缩机将空气泵入腔室的各个部分，形成真空。这种真空允许整个腔室内均匀的大气环境，确保均匀的薄膜和抵抗沉积。使用计算机控制的工具监测真空水平并相应调整。资产还利用先进的光学工艺控制，确保了准确、一致、可重复的抗涂层和剥离效果。这是通过使用光谱反射计和分光光度计来测量抗蚀剂涂层和基板的光学特性来实现的。此外，该模型还能够对抗蚀层进行在线无损检测（NDT），以确定其均匀性、附着力和厚度。这是通过优化扫描设备以非常低的能级扫描抗蚀层来实现的。最后，系统还提供后处理分析，以确认涂层和剥离结果。此外，该装置还配备了多种自动化工艺，以确保沉积的抗蚀层的准确性、效率和可重复性。总体而言，SST提供的先进工程使其成为光刻涂层和剥离的高效可靠的选择。这台机器具有广泛的优点,例如精度、准确性、一致性、可重复性和易用性。