二手 SEMITOOL SSTC-632280 #293616250 待售
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SEMITOOL SSTC-632280 Photoresist设备是一种自动湿法,用于将光敏材料的薄层称为光敏材料沉积到给定材料的基板上,然后将其暴露在所需的光强度下。光刻胶系统由几个组分组成,包括溶剂输送单元、喷雾喷嘴、反应室和光刻胶沉积室。溶剂输送机用于向喷嘴输送所需的溶剂量。这是为了确保光刻胶以正确的体积喷洒到基板上。喷嘴在过程中增加了一个关键步骤,因为它将光致抗蚀剂雾化成细颗粒,然后以均匀的方式施加到基板上。反应室又称气体或蒸气室,用于控制光致抗蚀剂沉积的环境。这个腔室控制着大气中存在的压力、温度和氧气量,这些都对光刻胶层的均匀性和精度有影响。光致抗蚀剂沉积室是一个封闭式室,用于容纳基板和喷涂光致抗蚀剂。腔室的特殊设计允许在沉积过程中保持恒定的温度、压力和氧气气氛。该过程的最后一个关键步骤是基板暴露于光源。这样做是为了确保光致抗蚀剂层对所需的光强度具有所需的灵敏度。一旦这个过程完成,光刻胶层就被固化,如果需要的话,然后从基板上除去。SSTC-632280光敏工具是一种可靠的自动湿法,通常用于半导体工业。它是从光刻到薄膜太阳能电池等多种应用的理想解决方桉。该资产具有准确一致的结果,是光刻沉积的主要解决方桉之一。
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