二手 SEMITOOL SSTF 42120F #9262874 待售

製造商
SEMITOOL
模型
SSTF 42120F
ID: 9262874
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Spray solvent system, 6" 1996 vintage.
SEMITOOL SSTF 42120F是一种全自动的自接光敏带设备,旨在减少循环时间,提高晶圆产量。这个先进的系统利用优化的软件算法和精密的机器人硬件,以确保晶片暴露在同样高的精度和可重复性水平。该单元具有紧凑的架构,并允许整合各种基材。SSTF 42120F利用快速输送机和精确的机器人机构将晶片送入和送出腔室。首先,将基板装载到输送机上;然后将它们运到光刻胶加工室。在腔内,晶片暴露于指定波长和强度的紫外线。这种暴露导致晶圆上形成均匀的涂层。暴露后,晶片被运出腔室并从输送机卸载。SEMITOOL SSTF 42120F提供自动化的计量功能,并提供高级诊断以识别流程问题。该工具可以执行一系列标准曝光功能,如曝光前、曝光后以及暴露于多个波长。此外,资产还可以根据应用程序的要求执行定制的曝光配置文件。SSTF 42120F的先进控制模型旨在减少浪费,最大限度地提高加工精度。为确保性能一致,设备运行智能测试协议,在曝光前检查基板质量。此外,还会检查处理前后的所有曝光参数是否准确。软件还提供自动反馈,并允许用户自定义系统设置。SEMITOOL SSTF 42120F包括一系列安全功能和保护机制,以保护用户。这些系统采用板载空气过滤,以减少空气中颗粒在加工过程中撞击晶片的风险。此外,机器人机构还配备了安全传感器,以避免晶圆被处理时发生任何碰撞和其他风险。总之,SSTF 42120F光敏装置具有很高的一致性和准确性.其智能软件算法和高级诊断确保晶片在设计规范内进行处理。其安全特性和自动化控制机提供了可靠、安全的处理环境。
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