二手 SEMITOOL SSTF 421270F #9265379 待售

SEMITOOL SSTF 421270F光刻设备是一种新一代喷雾光刻平台,提供更高的吞吐量和改进的过程控制。该系统由SEMITOOL开发，采用喷涂抗蚀剂技术快速准确地将光敏材料沉积到基板上。该装置的操作宽度高达60英寸（152厘米），具有动态配方控制的完全自动化功能。机器需要最少的操作员交互，以保持过程的一致性和提高产量，因为它使自动抵抗通量密度测量和均匀性测量。喷涂防喷剂过程发生在工具的喷涂室中。喷雾室包括一支喷枪，按照工艺配方的规定，将精确数量的光致抗蚀剂分配到基材上。这种抗蚀剂的精确应用将抗蚀剂层固结成紧凑的薄膜，均匀地覆盖基板，防止污染或堆积。一旦使用了抗蚀剂，资产的再循环环路允许重复使用未使用的光致抗蚀剂，以减少材料浪费。SSTF 421270F还具有一个集成的视觉对齐模型，该模型扫描基板图样是否未对齐或有缺陷，允许操作员进行实时布局校正。设备的高分辨率摄像机可确保对基板的全覆盖,而无需手动对准口罩。先进的清洁系统进一步提高了自动化程度，改进了工艺控制，因为它允许使用各种不同的化学品在喷涂涂层前后清洗基板。通过车载粒子传感器和原位臭氧发生器监测设备的清洁度。SEMITOOL SSTF 421270F还配备了智能过程控制机，自动识别过程变量并相应调整喷雾参数。这种自动化显着减少了操作员的输入，优化和标准化了抗蚀层。为了进一步优化敏感抗蚀层，SSTF 421270F包括一个保持恒定湿度水平的湿度控制环境。通过确保喷涂环境对基板进行适当的调节，工具可以防止抗蚀层收缩或软化。总体而言,SEMITOOL SSTF 421270F是一个先进的自动化喷雾光刻平台,可提供更高的吞吐量、增强的过程控制和精确的抗蚀层形成。通过其集成的视觉对准资产、自动清洗模型、智能过程控制和湿度控制，设备有助于最大限度地提高产量并减少废品。因此，SSTF 421270F是一个下一代的解决方桉，对于那些需要一个最优的光刻系统。