二手 SEMITOOL SSTF 421280M #293653192 待售

SEMITOOL SSTF 421280M是一种用于薄膜沉积和光刻工艺的光刻设备。它结合了一个自旋涂层和一个自旋涂层，允许精确和均匀的光刻胶沉积成底物。自旋涂层可用于将光致抗蚀剂材料涂抹到最大均匀度的基板上，而自旋涂层可旋转基板高达40,000 rpm。该系统配有多种配件，包括循环冷却器、4端口晶片处理程序、通用盖、一次性电池、压力源和介质储罐。它还包括用于管理、监视和控制设备的软件。软件包由用户界面、配方管理器和数据记录器模块组成。循环冷却器提供精确的冷却，以确保光敏材料在整个沉积过程中保持一致的温度。4端口晶片处理程序可确保基板的精确和均匀定位。通用盖子有助于防止不需要的环境光线照射。一次性电池在光刻过程中保持清洁和一致性。压力源有助于减少光敏材料在自旋涂层过程中的变形，介质储层设计用于分配光敏溶液。SSTF 421280M光刻机通过最大限度地减少厚度变化、层均匀性、表面光滑度和缺陷，提供均匀可靠的沉积质量。它还提供精确的处理、快速的处理时间和简单的操作。它的先进设计使光刻工艺具有成本效益和可重复性。该工具可用于涂层干膜集成、MEMS、太阳能电池、复合半导体、高科技电子元件等多种应用。