二手 SEMITOOL SSTF221280MBT #293628579 待售
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SEMITOOL SSTF221280MBT是一种先进的光刻设备,设计用于各种光刻和晶圆处理应用。它采用创新设计,能够精确控制光照和光学特性,包括针对暗场和明场应用进行优化。该系统具有强大的处理和命令功能,可为各种前端半导体应用程序提供经济高效的解决方桉。SSTF221280MBT的核心是它的SSTF-21200MP光致抗蚀剂单元,它不仅包括必要的光学器件,还包括一个集成的去粒机和真空工具。这种强大的光阻资产提供了一种能够精确、快速地自动对焦的能力,具有宽广的可调光圈和曝光参数的微调,以最大限度地提高吞吐量。自动对焦提供了一个清晰的视线与以前的镜头,消除任何失真从成像模型。此外,可以使用激光照明设备处理多个抗蚀层。SEMITOOL SSTF221280MBT还具有集成晶圆支持系统,可配置最多三个晶圆大小和厚度。晶圆传输单元不需要手动处理晶圆,最大限度地减少了破损或污染的可能性。SSTF221280MBT设计用于处理各种光敏材料,包括krylon、terbine和amine类型。该机支持曝光后和曝光前烘烤模式,使用户可以灵活配置流程,以最大限度地提高吞吐量,最大限度地减少缺陷。预曝光烘烤模式允许用单一基材快速处理多层光刻胶。SEMITOOL SSTF221280MBT集成了多种颗粒去除系统,以实现晶圆的最佳清洁度.此工具具有自动预清洗、后清洗和擦拭功能。清洁溶液通过资产上部的喷嘴通风口使用,流量可调节,确保有效清洁和干燥暴露的晶片表面。SSTF221280MBT还包括一个直观的控制面板,它允许操作员轻松设置功能、监视参数和快速更改实现。该面板包括曝光和工艺设置的集成显示,允许进行高效和直观的调整以优化晶圆的生产。总体而言,SEMITOOL SSTF221280MBT是一种高度先进的光刻胶模型,可为各种前端半导体应用提供可靠、高效且经济高效的解决方桉。凭借其集成的设备设计、强大的光学和处理能力、高效的清洁方桉以及直观的控制面板,该系统为用户的光刻和晶圆处理项目提供了更高水平的控制和吞吐量。
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