二手 SEMITOOL ST 240 #293604284 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 240
ID: 293604284
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST 240是SEMITOOL为半导体器件处理和封装应用开发的光刻设备。该系统专为当今集成电路制造商的需求而设计,这些制造商需要更小的组件和更大的封装。ST 240单元为晶圆表面沉积均匀清洁的光敏层提供了可靠、经济高效的方法。这台机器的关键特点是其先进的喷雾技术,能够准确地在晶片上沉积一个一致且均匀的薄薄的光致抗蚀层。此外,它还可以在密集堆积的区域中精确地形成层,并去除额外的光刻胶,从而干扰电路操作。它还具有双喷嘴技术,以提高晶片表面的均匀性,减少斑点的形成,并消除物理擦洗去多余的光致抗蚀剂的需要。SEMITOOL ST 240利用多种基材,提供耐化学加压陶瓷头,提供高效的晶圆涂层。该工具还配备了自动晶片定位资产,以确保精确对齐和一致的光阻应用。此外,该模型还具有自动化的沐浴化学,调节抗蚀剂的粘度和沐浴温度以获得最佳性能。为了获得最大的灵活性和定制,ST 240具有直观的用户界面、多种剂量模式、五种不同的控制模式以及各种工艺参数,可以用来调整化学和光刻胶浴场的参数。此外,它强大的工艺控制功能使用户能够微调光阻特性,如附着力、暂时增加阻力、形成凸起凸起和薄膜图桉。设备还包括一个板载控制器和一个安全装置,以提供对用户进度的实时监测和反馈,以及进行故障排除。最后,SEMITOOL ST 240配备了全面的诊断和可追踪性工具,使用户能够快速识别和隔离问题,并快速识别和解决问题。
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