二手 SEMITOOL ST-2400 #293600511 待售

SEMITOOL ST-2400是为半导体器件制造而设计的光刻潜水设备。它利用基于真空的方法将光致抗蚀剂从储存容器转移到晶圆。ST-2400系统能够控制光刻胶水平和温度，以确保晶片加工过程的均匀性和准确性。该单元包括一个配电阀和控制器，负责在光敏浸没过程中驱动晶片的运动，以及一个喷嘴、一个维持固定温度的加热块和一个真空发生器，负责在光敏浸没过程中清除气隙。SEMITOOL ST-2400机具有多种光阻基板构型，可同时处理多种基板。它既可用于接触式也可用于非接触式光致抗蚀剂浸没，从而实现多种工艺配方。此外,还可以对其进行定制,以适应一系列光刻胶粘度、温度和浸没高度,从而使其能够在整个晶片上获得均匀的光刻胶覆盖。ST-2400工具配备了闭环过程控制，用于监测光刻胶水平、温度、浸没高度和其他过程参数。此外，该资产还具有识别和消除模型错误的内置故障恢复能力。此外，它还具有先进的吸尘能力，能够去除光刻胶层中任何滞留的气泡，从而提高整个工艺性能。该设备与一系列液体兼容，如光刻胶、溶液、溷合物和乳液，允许与现有涂层工艺广泛兼容。此外，由于其精确的底物控制和先进的分配技术，它能够产生出色的薄膜性能。综上所述，SEMITOOL ST-2400是一种可靠、坚固的光刻潜水系统，具有精密工艺控制、故障恢复、精密基板控制、与各种液体兼容等多种先进特点。这些特性结合其可靠性，使ST-2400成为半导体器件制造应用的理想单元。