二手 SEMITOOL ST 240D #131147 待售

SEMITOOL ST 240D是为满足半导体行业光刻需求而设计的综合性光刻设备。它配备了许多高级功能,使其能够提供精确的图样设计功能和对蚀刻时间的精确控制。系统的物理特性包括一个16.7 "x 16.7"/42.6 cm x 42.6 cm的腔室，深度10"/25.4 cm。它有一个定向站，可以与液体和干燥的光刻胶同时使用，为不同的工艺要求提供最大的灵活性。它还具有直接加热抗蚀剂溶液的机理，可实现快速斜下剖面和精确调节抗蚀剂温度。该装置的其他特点包括可控制的气体喷射机，用于优化体积和温度控制，以及设计用于提高重复性和吞吐量的湿度控制工具。该资产还利用了先进的成像技术,如全高清光学、先进的光映射以及用于精确对齐和迭加的自动舞台控制。ST 240D还配备了一套强大的处理功能,包括光学、激光、激光扫描和数字成像等多种曝光方法,以及先进的抗蚀剂控制功能,可精确控制抗蚀剂的厚度和硬度。此外,该模型还提供了许多节省时间的功能,例如内置的自动清洁站、简化的单步流程周期以及与通用自动化的完全集成,包括SMIF、ARM和SMCS系统。综上所述，SEMITOOL ST 240D是一款功能强大、用途广泛的光刻设备，旨在提供精密的微米级图桉、高通量、精密的蚀刻和抗阻控制。ST 240D拥有一系列先进的成像技术、灵活的气体控制、自动化的清洁站，是满足工业光刻需求的理想选择。