二手 SEMITOOL ST 260 #9012257 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 260
ID: 9012257
晶圆大小: 4"-5"
Spin rinse dryer (SRD), 4"-5" Single chamber.
SEMITOOL ST 260是一款专为半导体制造业而设计的功能齐全的光阻剥离设备。该系统利用可调节的旋转速度,允许用户设置特定作业所需的速度,从而消除时间和材料浪费。SEMITOOL ST-260有一个环境室,提供精确的温度和湿度控制,以确保最佳的质量控制。它还具有用于处理多个晶圆的双区域自旋驱动器,以及用于存储多达六种单独化学品的多个储存库。ST 260具有高性能驱动器单元和灵活的用户界面,可用于手动和自动操作。该机器具有高分辨率彩色液晶面板显示屏和先进的触摸屏控制,使操作员能够快速调整设置并监控过程。此外,ST-260还包括一个BMA(无刷磁性装配),它允许工具精确检测每个光刻材料条的传输方向。此外,它还具有强大的超声波清洗资产,使用户能够在剥离过程中从整个晶圆表面清洗和冲洗化学物质。SEMITOOL ST 260还有一个化学蒸煮功能,允许随着时间的推移优化化学用量,除了减少浪费和提高工艺效率。此外,它的预设警报功能有助于在模型性能或传感器检测故障出现问题时通知操作员,而其自动校准功能有助于确保设备始终正常工作。所有这些特性的结合使SEMITOOL ST-260半导体制造行业的一个全面可靠的光阻剥离解决方桉。
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