二手 SEMITOOL ST 260 #9170594 待售

SEMITOOL ST 260是半导体工业中用于制造高度复杂微电子器件的光刻设备。该系统由旋转晶片级、紫外线泛光源和激光投影仪组成，用紫外线照射晶片表面。舞台由自动化软件控制，使用步骤重复等高级技术产生错综复杂的模式。SEMITOOL ST-260利用专用的激光二极管投影仪，产生高度一致的光束轮廓，非常适合在晶圆表面上创建微小的细节。这台投影仪可以被编程为显示一系列形状、大小和图桉，并且可以被设置为创建各种具有不同复杂程度的光刻胶。此外，该装置还具有用一层薄薄的光致抗蚀剂（一种对紫外线高度敏感的特殊材料）涂覆晶片的能力。光致抗蚀剂施用后，激光投影仪就可以用用户定义的形状和大小将晶片表面暴露在紫外线下。紫外线是由经过微调的长波长紫外线泛光源产生的，它提供了"燃烧"光致抗蚀剂暴露区域所需的能量。此过程使用户能够在晶片表面上创建复杂的图样和形状,然后通过光刻蚀刻过程将这些图样和形状传输到底层材料。由于软件控制晶片级的旋转和定位，这一过程非常精确准确，确保了曝光的一致性和可靠性。ST 260机器是一种可靠、精确的工具,能够产生复杂的微电子器件.它易于操作,并与流程机械很好地集成在一起,从而实现了无缝的工作流程。该工具利用高精度激光二极管投影仪和UV激光源，能够产生精密复杂的图样。此外，它的自动化软件大大降低了光刻蚀刻工艺的复杂性，并确保了一致和可靠的结果。