二手 SEMITOOL ST 260 #9263895 待售

SEMITOOL ST 260是一种在半导体工业中使用的光阻设备，用于进行晶圆清洗、抗蚀带、溅射清洗等多功能应用。这个系统可以支持2英寸或4英寸的晶圆。它由四个单元组成：一个湿式加工柜、一个化学加工盒、一个冲洗站和一个DI水机。湿式加工柜的设计目的是可靠地加工晶片，其沉积过程需要一定范围的化学、温度和压力。它具有快速热控制的高效设计，以及自动蒸气和流量监测等先进的安全功能。橱柜温度范围在5°C至85°C之间，温度均匀度± 2°C。化学加工盒允许用户使用各种化学和温度处理其晶片。冲洗站允许高精度晶片冲洗和溷合操作最多同时八个晶片。DI水工具一贯产生DI水质，用于最重要的光刻胶工艺控制。SEMITOOL ST-260采用先进的抗蚀剂条带技术进行光刻去除.资产可以处理多达2或4英寸的晶圆。在1310 nm或较短的波长下进行扩散和光致抗蚀剂剥离。条带速率和温度是可编程的,以获得最佳结果.热斜坡上升和斜坡下降功能可将温度超调降至最低。针对光刻胶的应用，该模型还采用了先进的溅射清洁技术进行设计。这一过程可以去除晶片表面的化学残留物和颗粒残留物，然后才能抵抗涂层。溅射清洗的温度范围可达215°C,清洁时间可达45分钟。ST 260是用于各种苛刻纳米技术应用的可靠光阻处理设备。该系统的高级功能使用户能够始终如一地产生高质量的结果，而它的易用性使得它适合任何工业工艺生产线。