二手 SEMITOOL ST 260 #9293067 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 260
ID: 9293067
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST 260是为了在製造过程中发展半导体晶圆而建造的独立光刻设备。它是一个独立的全自动系统,旨在在生产环境中提供最佳性能。SEMITOOL ST-260光刻装置设计有双炮塔机,允许两个单独的系统使用和操作一次。它包括两个半自动运行和一个全自动运行,给用户根据应用的具体需求调整过程参数的多功能性。双炮塔工具也减少了批处理过程中使用的时间和材料。对于精密光敏处理,ST 260配备了顶级型号2200vb旋转预对准器、解析成像资产、均匀的光斑尺寸照明器,以及高精度的X/Y载荷/卸载模型。这使用户能够准确控制工艺参数和光刻胶性能。此外,该设备还利用一系列反应堆来开发、剥离和钝化光敏层。该系统还包括广泛的样本选择,使用户能够使用各种类型的基材。光刻胶单元的性能无与伦比。它能够处理高达200 mm的高动态晶片尺寸和大面积基板。它还提供了卓越的机器控制,使用户能够实现一致的过程性能和高质量的结果。该工具还提供安全功能,以确保生产环境中的安全。其中包括多轴灭火资产、自动关闭装置和紧急停止按钮。总体而言,ST-260光刻胶模型为用户提供了卓越的生产环境性能。以其可靠的技术和直观的设计,是精密光刻加工和半导体生产的理想解决方桉。
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