二手 SEMITOOL ST 2600 #9216873 待售

SEMITOOL ST 2600是一种光刻设备，设计用于300 mm生产的单机和集成处理。该系统采用模块化部件构建,便于直接维修和维护,以减少停机时间。它配备了一系列自动化和安全功能,使其成为芯片规模封装（CSP）、SiP和3D封装中的理想解决方桉。ST 2600具有纳米分辨率手动光束扫描仪,可重复性小于1 µm,用于精确对准和跟踪曝光。它还可以选择安装自动对准装置，用于扩展光刻和测试。它的单通曝光消除了多通使用模具掩蔽技术造成的阴影。这大大降低了由于先前遮罩技术的光学像差造成的图样极限和缺陷屈服。SEMITOOL ST 2600机器的350nm 365nm UV灯具有可调的能量输出和高对比度的分辨率,能有效地曝光任何形状和尺寸范围广泛的图桉。该工具具有较高的耐用性和较长的寿命。Photoresist Stripper可减少蚀刻时间并提高设备吞吐量。标准的喷嘴配置允许使用旋转淋浴头应用均匀的抗蚀涂层。ST 2600资产与Nanotech的软件集成了过程控制、数据采集和产品监控。它可以与光学和近距离计量产品相连接，用于原位抵抗膜厚度的测量。此外，自动化模型将所有预定的程序与智能过程控制结合在一起，实现了可重复精度。温度控制器可精确控制抵抗装置的温度。独特、集成的空气脉冲清洗模式减少了程序循环时间,消除了水和溶剂的使用.SEMITOOL ST 2600可以使用均匀的曝光特性对直径最大69英寸的晶圆进行制图，每晶圆最多8英寸。它还采用二氧化碳监测设备，在空气净化和循环利用的废气上加入过滤器，从而提供环境安全特性。总之,ST 2600是一种可靠可靠的光致抗蚀剂系统.易于维护，具有极好的重复性和高度的安全性。该单元的设计目的是以最经济高效的方式提供最高精度和生产力。