二手 SEMITOOL ST 260D #105445 待售

SEMITOOL ST 260D光刻设备是一种在硅和石英等各种基板上进行蚀刻和清洗集成电路的工具。SEMITOOL ST-260D是一款高性能旋转涂层,采用模块化设计,便于访问系统的所有组件,包括旋转头、真空、abra-sion和清洁部分。该装置采用不锈钢旋转头，可容纳直径达12.7英寸的大型基板。这样可以使基板以可变速度均匀、连续旋转。为确保薄膜厚度均匀一致,旋转头配备了电动变速控制器。旋转速度可设置为1,800 RPM。ST 260 D提供了一个集成的真空机,将光刻胶涂在基板上.该工具包括一个独特的卷入式卡带，便于装载和卸载基板。一旦加载，基板就暴露在真空中，这有助于将光致抗蚀剂拉到表面。真空资产还具有内置电容电平控制功能。这样可以确保基板表面在应用前被正确充电，这有助于减少任何抵抗粘附的问题。在蚀刻和清洁方面，ST-260D兼具干湿加工能力。它配备了具有侵略性清洁设置的磨料颗粒筒仓和四个浸泡桶。这样可以用较少的工艺步骤对基板进行蚀刻和清洗。该模型还包括一个自动化晶圆传输设备和一个预培养室，这有助于降低资源成本和周转时间。ST 260D光刻胶系统旨在提供最大的过程灵活性,同时帮助降低处理成本。它采用模块化设计,易于维护和升级设备,其自动化过程有助于减少人工和错误。SEMITOOL ST 260 D具有广泛的特性和功能,是各种IC制造过程的理想解决方桉。