二手 SEMITOOL ST 260D #131148 待售

SEMITOOL ST 260D是用于开发和清洁集成电路（ICs）的光刻处理设备。它设计用于湿法和等离子体工艺，以实现卓越的光刻胶生命周期管理。该系统提供可选的激光对准,用于在IC上精确放置抗蚀剂掩模图像,以及用于快速基板处理的双盒式磁带加载。该单元使用多级转子来实现工艺精度和均匀性,采用模块化方法可实现体积和单个晶圆功能。可调电阻机进一步提高了工艺产量和控制。该工具还具有集成的开销结构,具有特定于功能的组件,包括图形用户界面（GUI）、触摸屏界面和基于传感器的控制。高密度、集成的处理器包括激光对准和双盒式加载、优化的抗拒生命周期管理、自动化配方开发、湿化学和电化学机械抛光工艺、激光修剪和激光退火。可调多层光刻体系结构还优化了晶圆覆盖范围和工艺精度,而温度控制的Spin/Spray工艺消除了对操作环境的化学暴露。具有负载/卸载端口的模块化真空资产可确保高速、低成本的防腐处置,化学管理端口可改善过程控制并控制化学暴露。该模型还提供多级访问控制,对跨功能用户和供应商进行集中控制,从而在设备内实现更快、更高效的通信。SEMITOOL ST-260D是为高可靠性、高成本效率和易用性而设计的。它简化了光刻胶加工的过程，让製造商保持一致的产品品质，降低拒绝率，并使系统产率最大化。此外,该设备设计得非常可靠,精心设计,为IC行业提供最大性能和效率。