二手 SEMITOOL ST 260D #9195235 待售

SEMITOOL ST 260D是一种坚固的光致抗蚀剂剥离设备,可覆盖多种水性、半水性和溶剂性光致抗蚀剂材料。凭借其先进的机械设计，该系统被设计为快速、方便地剥离小、中、大基板。该单元的设计允许对工艺参数进行精确的微调，以满足各种工艺要求。主工艺单元由集成伺服电机驱动，该电机能够在正反方向上进行连续或步进索引，以及变速索引。这允许控制诸如温度、时间和压力等过程参数。光致抗蚀剂剥离过程发生在一个200W的不锈钢工艺室内，涉及多个淋浴头、循环泵和加热元件。这样可以使材料快速加热、均匀固化、剥离。用加热和冷却的护套进一步改善了热量的交换，该护套在工艺室内提供一致的温度。SEMITOOL ST-260D具有许多过程安全功能,有助于确保过程清洁和可重复。这些特点包括过温保护、基板高度感测和工艺水温控制机。这有助于防止热冲击对光刻胶和基板的潜在影响，以及维护工艺的操作环境。除了工艺安全功能外，该工具还融合了各种有助于降低总体运行成本的功能。这些特点包括试剂消耗量低，用水量最少，并且能够在一个过程中处理多种底物尺寸。总体而言，ST 260 D是一种坚固的资产，能够以安全和成本效益高的方式持续剥离各种光敏材料。凭借先进的设计和工艺安全特点，该模型为实验室和生产设施提供了一个极好的使用平台。