二手 SEMITOOL ST 260D #9248753 待售
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ID: 9248753
晶圆大小: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4"
Single stack
Standalone
TC20 Resistivity meter included.
SEMITOOL ST 260D是一款功能齐全的光刻设备,设计用于处理半导体加工应用的特定需求。该系统能够一次处理多达八个晶片,具有高效可靠的吞吐量,最大限度地减少了处理多个晶片所需的时间。SEMITOOL ST-260D包括一套标准的核心元件,例如用于定位晶片的真空卡盘,以及用于将光刻胶膜应用于晶片的可调源机构。该腔室有一个特殊的面板,用于发射氮气,以消散任何残留的光敏烟雾。室内温度用内置温度控制单元保持恒定。该机器还具有一个内置的LED光源,可以照亮晶片,使光刻胶薄膜均匀覆盖。直观的用户界面可以方便地控制和修改曝光参数,例如每个晶圆的曝光时间。该工具可以快速轻松地校准,从而确保准确的结果。ST 260 D还具有光敏处理后自动清洗和冲洗晶片的能力。冲洗过程利用更高压力的输送机制彻底去除晶片中残留的光刻胶。该资产还能够在内部干燥晶片,采用可根据用户喜好手动调整的集成风机模型。此外,设备还配备了先进的安全特性。系统在紧急情况下自动关闭,并且该设备旨在保护用户免受任何潜在的污染危害。利用这些先进的安全特性,可以安全地使用机器,同时确保光刻胶处理的最佳效果。总体而言,ST-260D是一种可靠、高效的光刻工具,专为半导体加工应用而设计。其先进的功能和安全法规使其成为许多公司的首选,而且其用户友好的界面允许快速、轻松的定制和控制。
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