二手 SEMITOOL ST 260D #9271525 待售

SEMITOOL ST 260D光刻设备是一种多用途最优机器，使用户能够实现生产先进半导体器件的不同工艺和化学处理。该系统因其工艺/蚀刻时间可调、等离子体沉积均匀性、多源能力和兼容的工艺化学品而在标准光刻胶系统中脱颖而出。SEMITOOL ST-260D为用户提供了在水平或垂直方向上最多分配三种加工化学品的能力。这种多源功能允许用户配置其进程并控制顺序蚀刻时间。此外,可调节的蚀刻时间允许复杂的工艺,从而产生高质量的薄膜和成品。为了获得一致的薄膜特性均匀性，该单元还具有变频调谐，允许调整等离子体沉积速率和组成。这样可以确保整个基板上均匀的等离子体密度。ST 260 D还具有一个特殊的安全控制器,可确保完整的过程控制和化学处理安全。这台机器的设计目的是提供先进的安全功能，如提醒用户低气压和泄漏，这意味着它可以用于敏感的医疗和工业操作。就其硬件而言，这种光刻工具具有紧凑的形状，可以方便地操纵基板，使得这种资产非常适合实验室使用。这台机器的总占地面积为441mm x 441mm,适合任何密闭环境。它还带有干式排气过滤器模型形式的附加安全特性，减少了排放化学品的任何液滴形成。总体而言，SEMITOOL ST 260 D是一种强大而全面的光刻设备，可以实现先进的工艺。其可调的蚀刻时间、等离子体沉积的均匀性和相容的工艺化学品使该系统成为实验室和工业应用的理想选择。该机具有安全控制器，基板操作方便，液滴形成最小，保证了质量效果。