二手 SEMITOOL ST 270 #174250 待售

SEMITOOL ST 270是为先进的光刻工艺而设计的精密光刻设备。它被用于高性能集成电路芯片的制造，并提供创建具有纳米级精度的光刻特征所需的严密控制。SEMITOOL ST-270系统包含一个精密步进器,该步进器具有高精度和重复性的光致抗蚀剂.步进器有两级，基板台和晶圆定位器。这两个阶段在X和Y轴中移动，允许在光致抗蚀剂的沉积中具有高度的精确度。它还包含一个气体控制台，允许在光致抗蚀剂应用过程中引入不同的大气气体。该单元有一个安装在晶圆定位器级的高分辨率摄像机，可以使光刻胶层与底层基板精确对准。摄像机的分辨率以微米为单位进行测量,使工作人员能够立即识别和诊断任何错误的对齐方式。机器还包含一个光刻胶分配阀，允许光刻胶沉积在晶圆上。这种阀门设计得非常精确，能够以每秒5纳米的速率沉积光致抗蚀剂。ST 270工具设计为可扩展，允许用户增加光刻过程中必须考虑的因素数量。例如,如果用户希望增加光刻胶层对齐过程中考虑的变量数量,则可以在资产中添加一个或两个额外的摄像头。总体而言，ST-270是一个可靠可靠的光刻模型，即使在最复杂的光刻工艺中也能提供可靠的结果。其高精度和分辨率，加上易于扩展和修改的能力，使其成为高端集成电路芯片制造的理想选择。