二手 SEMITOOL ST 2700 #293602067 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 2700
ID: 293602067
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST-2700是为薄膜设备生产而设计的自动化光刻设备。它是一个先进可靠的系统,为薄膜器件的生产提供基板的可重复加工。该单元可处理尺寸达300毫米(mm)的基板,允许其生产薄膜晶体管(TFT)、薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜电感、薄膜加热器、薄膜散热器等设备。ST-2700具有高级、完全可编程和自动化的过程控制器,允许重复处理,以确保设备的产量一致。机载控制器还能够实时监控流程参数,从而能够快速检测和解决任何潜在问题。这台机器包括一个11层装载机,它增加了灵活性,以适应不同的晶圆大小和类型。它具有集成的掩码对齐器,能够提供高精度和可重复性,并具有可变的掩码大小和形状。SEMITOOL ST-2700还具有现场扫描功能,可监控光刻胶层的质量和均匀性。ST-2700使用一系列兼容的光刻胶,可用于多种设备制造过程。这包括干法或湿法,并允许各种设备类型和形状。该工具还与各种蚀刻和提升过程兼容,允许进一步的层定制。SEMITOOL ST-2700能够进行多种不同的设备制造过程。这些包括但不限于光刻、旋转涂层、喷涂涂层、收缩烘烤、蚀刻、升空、高温处理、多步金属化、清洁工艺等热工艺。该资产非常适合制造薄膜设备,因为它提供了高精度和可重复性,以及快速高效的工艺。ST-2700是一个自动化模型,允许可重复的过程,为设备制造提供可靠和高质量的平台。它旨在为薄膜器件的生产提供一个有效和可靠的设备。
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