二手 SEMITOOL ST 270D #9166872 待售

SEMITOOL ST 270D是为半导体生产而设计的自动化光刻设备。它是一种先进的设备，为操作员提供了用光刻胶等蚀刻材料快速准确地对晶片进行图样的能力。该系统具有全自动、自成一体的设计，为所有不同类型的基板提供高效和可重现的光敏处理。该单元由四个模块组成，以模块化形式排列，即清洁、开发、冲洗和治疗模块。它配备了专利、自调、模块化的机电平台和潜水臂，使机器能够处理各种晶圆尺寸和样式。此外，ST 270D还有一个全自动的分配和光阻应用工具，每小时最多可覆盖250个晶圆。该资产可以处理正负光刻胶，使其能够蚀刻厚层和薄层沉积。SEMITOOL ST 270D还具有可调节的压力清除喷嘴以清除任何不需要的污染物,以及保持一致涂层密度的均匀抗喷剂模型。设备最多有五个独立的计算机控制器，可以用定制配方编程，包括配电率、固化参数和工艺步骤定时。它能够控制工具内部的温度、湿度和氧气水平，以确保一致的结果。该系统具有自动化的轨道馈送功能，并与广泛的基板站点和弹匣兼容。此外,ST 270D还包括一个成像单元,使操作员能够验证流程准确性和调试问题。总体而言，SEMITOOL ST 270D是半导体工业中用于光刻胶生产的先进设备。其全自动、自成一体的设计通过可调压力吹扫、均匀的喷雾、温度和湿度控制以及成像机功能，确保了高效和可重现的光刻胶处理。