二手 SEMITOOL ST 270D #9211687 待售

SEMITOOL ST 270D是一种高性能光刻设备，用于生产结构精确的微电子元件。该系统允许制造商以非常小的脚印产生错综复杂的三维几何形状。它利用数字光刻和暗场成像的优势，以确保抗蚀剂在精确的几何形状指定被阵列。ST 270D的光刻可用于多种光刻工艺，包括光刻、光电图像传递（PEIT）、电沉积和其他微机械加工应用。光刻利用光将遮罩设计传递到感光材料上。这用于创建所需的结构或几何。PEIT允许更快、更精确的阵列,从而进一步提高了几何的成像和准确性。电沉积可产生平滑、无缺陷的表面,具有一系列机械和电气性能,可用于高级应用。SEMITOOL ST 270D利用elektron beam lithography （EML）产生3维微观结构。该单元可以非常精确地向25 nm结构生成三维纳米结构,并可以绘制体积。可生产的结构不仅限于抵抗模式。其他材料，如金属、电介质和复合材料也可以与EML工艺一起使用。ST 270D还利用暗场成像，确保机器产生的结构或图样准确精确。Darkfield imaging maximize the constist masks and substate materials and allows for greater accuracy when pattinging the masks.它还确保将背景杂波保持在最低限度,因为它无需同时查看整个基板区域,从而提高了刀具的准确性。该资产包括许多集成功能,以帮助简化光刻过程。它具有易于操作的用户界面，以及全自动聚焦调整和内置校准模型。此外,它还提供集成的诊断和过程控制功能、高级报告和分析功能。总之，SEMITOOL ST 270D是一种强大的光刻设备，可以用来为各种微电子元件产生复杂而精确的三维几何形状。它利用EML、暗场成像和其他功能来确保生成的几何形状准确而精确。该系统还便于用户使用，并提供各种集成功能，以帮助简化光刻过程。