二手 SEMITOOL ST 270D #9246163 待售

SEMITOOL ST 270D是一种光刻设备，设计用于晶圆光掩模加工的最高精度。该系统为6轴单元，具有在三维轴向位置范围内定位和移动各种基板的能力。它具有高达50个晶圆的顶载晶圆盒式容量，可以支撑100至200毫米之间的晶圆直径。该机还配备了支持表面活化、灰化和蚀刻的等离子体源阵列。ST 270D能够执行光刻步骤,包括涂层、曝光和显影.它支持多种光致抗蚀剂，包括正、负、双色调的抗蚀剂，并能以多种波长运行，如干、深UV（波长介于365或375纳米之间）、I线（波长介于365或410纳米之间）。此外，该工具还支持自旋沉积、掩模蒸发和先进的干蚀刻方法。该资产具有可控的离子清洁和中性灰化晶片的能力，以确保光致抗蚀剂在曝光前完全没有污染物。它还具有提供均匀氧化物蚀刻的先进能量沉积控制（EDC）和支持蚀刻、氧化和沉积的等离子体源阵列。此外,它还具有高精度运动模型,能够将光掩模和晶片精确定位到一定尺寸范围,从而实现精确的图样化。SEMITOOL ST 270D设备还具有集成的OPC工作站,用户可以在其中进行基于规则的设计优化,以最大程度地减少平版印刷错误并提高打印能力。该系统还配备了MaskEdit软件,该软件旨在提供最佳的曝光调制控制。最后，该单元提供了先进的产量分析工具，可用于从各种来源识别、量化和纠正与光刻有关的过程变量。