二手 SEMITOOL ST 270D #9383156 待售

SEMITOOL ST 270D
製造商
SEMITOOL
模型
ST 270D
ID: 9383156
晶圆大小: 5"
Spin rinser / dryer, 5".
SEMITOOL ST 270D光刻设备是一种自动湿式板凳设备,用于在各种基板上施加薄层光刻材料。该系统旨在对包括硅、石英、玻璃和陶瓷在内的多种基板进行精确处理。ST 270D具有多种功能,如可编程的自备喷雾器、自动更换工具、超精确级、易于使用的人机界面(HMI)和大气压力控制单元。该机装有一个独立的喷雾臂,无论基板的方向如何,它都能非常精确地喷洒光刻材料。这是由用于移动喷雾臂的高速、高频驱动电动机所实现的。压力喷雾器的设计使材料均匀地分布在基板的整个表面上。SEMITOOL ST 270D配备了大气压力控制工具,用于调节室内化学品的压力。这对于光刻胶材料的精密喷涂至关重要,在施加光刻胶材料时允许更高的精确度,而不会快速改变压力水平。此外,ST 270D还具有处理多种基板的超精确阶段。这是通过使用空气轴承和直线轴实现的,这意味着该级能够进行非常精确的运动,这对于精确处理光敏材料是必不可少的。SEMITOOL ST 270D还装有易于使用的人机接口(HMI),用于控制资产。这使操作员能够快速轻松地控制模型的功能,以及设置不同的过程周期和程序。最后,自动换刀器能够高精度地更换出各种不同的工具。这样就可以快速切除加工工具,如纺纱机、喷嘴和抛光头,从而以极快的速度加工基板。ST 270D是一种高性能的光刻设备,设计用于各种基板的精确加工,并带有许多特点,旨在提高加工速度和质量。
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