二手 SEMITOOL ST 440 #9194043 待售

SEMITOOL ST 440是一款设计用于半导体加工的光刻设备。该系统能够对众多的底物应用抗蚀层，包括硅、硅​​、氮化氙和砷化铝。ST 440有一个多功能平台，提供广泛的曝光和开发选项，包括直接投影（DP）、接触对齐器（CA）和图像反转（IR）。该单元的多功能性使其适合大多数生产光刻工艺。SEMITOOL ST 440配备了一个用于底物装卸的锁载室。它具有六轴机械臂，方便晶片从入口载荷和卸载站到加工室的运动。手臂在转移到加工室后甚至可以清洗晶片。此外,机械臂的存在,以确保准确和精确的基板处理.光刻机有一个数字模式发生器，可以在整个抗蚀层产生大量的形状和线密度。可以使用2-D或3-D图像访问模式生成器。该工具还配备了用于成像和对准的激光源。激光源的波长为400-430 nm,分辨率为5微米.ST 440利用照明资产,可以在低功耗应用的发光二极管（LED）模式和高功率应用的泛光灯模式之间进行选择。这种照明模型与一个经过人工调节的精密级相结合，为曝光提供了抗蚀层的精确定位。舞台设计有操纵杆手柄和编码器，以确保最大精度。设备包含一个三级显影室，允许溶剂蒸气显影、湿法显影、显影后冲洗。这样就不需要在后处理之前进行转移或取样。室内热板的温度通过精度为+/-1摄氏度的PID过程控制。可以用远心显微镜测量和检查显影模式。SEMITOOL ST 440可以处理各种基材，厚度可达200微米厚。它具有快速、可重复的集成电路（IC）处理生产工艺.该系统配有用户界面，允许轻松调整设置和参数以满足特定要求。它还设计有安全功能，以确保用户、基板和设备的安全。