二手 SEMITOOL ST 470 #9207419 待售

SEMITOOL ST 470是一款功能强大、功能齐全的光刻设备,旨在提供广泛的精确涂层、开发和剥离服务。该系统非常适合在刚性和柔性基板上制造。ST 470配备扫描电子显微镜（SEM）、光刻涂层、集成前体单元和自旋处理器，对光刻工艺进行最佳控制和精度。机器的SEM允许对样品表面进行非常详细的检查,从而可以动态控制光掩模的形状、尺寸和其他处理参数。这用于确保半导体器件、基板和光掩模之间的精确接口。高分辨率的光学显微镜还可以很容易地确定基板的平坦度，以及提供光刻成功的快速诊断和验证。集成前体工具提供了光刻胶或显影剂的精确交付，从而提高了开发时间和工艺的准确性和控制力。这项资产包括一个内部化学品储存库，以及一个智能芯片，跟踪用于节省时间和减少浪费的液体量。此外,SC 470还拥有一个自旋处理器和一个自动化开发人员,他们采用跨样本自动交付开发人员解决方桉。这样可以确保开发时间始终一致且准确,以获得统一的结果。SEMITOOL ST 470还包含一个高精度的热板，允许温度的精确实时调整，以最佳性能的抗蚀膜。热板与模型的集成空气冷却配合工作，提供精确的温度控制，从而实现精确的工艺和薄膜厚度控制，即使在具有挑战性的基板上也是如此。该设备还采用FOUP负载/卸载系统，使晶片的移动自动化，从而节省时间和精力。FOUP负载/卸载单元还配备了一个有组织的晶片托盘，该托盘带有集成传感器，可自动监测和保存每组晶片的位置。ST 470是一种先进的光刻机,为所有光刻工艺提供卓越的精度和控制.该工具具有多种特点，可为任何尺寸的薄膜半导体器件提供更高效、更可重复的处理。