二手 SEMITOOL ST-480 #9156435 待售

SEMITOOL ST-480是一种光刻加工设备，适用于各种工业和学术应用。该系统为光敏材料的开发、加工和表征提供了一系列集成组件。该单元由自动机器人运输机构组成，以确保光刻加工过程中的精确移动和定位。其精确的运动控制器通过精确的可重复性确保了多个过程之间的可重复结果。此外，机器人被编程为自动调整所需输出所需的温度和速度。机器的开发和处理能力包括一系列用于创建薄膜和特定厚度层的抗蚀剂类型。它采用自旋涂层工艺，将光致抗蚀剂均匀、精确地引入基材。同时，该加工站配有基板夹具和自动止动装置，以保护基板不被过度加工。表征站包括各种成像和分析组件，用于评估工艺结果的质量和准确性。它具有一个表面剖面仪，用于测量光刻层的微粗糙度和均匀度，以及一个用于测量材料光学特性的分光光度计。集成光学显微镜组件是可视化过程结果的理想选择。这一全面的光刻胶工具允许用户定制其光刻胶工艺，用于创建和分析层，以及用于材料研究和原型设计的潜在应用。ST-480的模块化设计和集成组件使用户能够以可靠的重复性执行高度精确的光刻过程。