二手 SEMITOOL ST 840 #293621586 待售
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SEMITOOL ST 840是一种光刻胶设备,用于从电子到医疗设备制造等多个行业的材料加工。该系统基于最新的光刻技术,具有先进的自动化阵列、成像和对准功能。ST 840设计用于湿法和干法加工,适用范围广泛。它能够经济高效地生产具有复杂模式和高精度的设备。该单元配备了一个集成的,单孔径,全局纵横比对准基板定位和模式投影。该对齐器设计方便,对齐精度和稳定性。它提供了自动化的阵列和成像功能,可以灵活地移动到基板周围的多个位置。该机器具有坚固而灵活的曝光室设计,允许各种材料被曝光,包括电介质,导体,和光致抗蚀剂类型。该工具具有高扭矩x, y, z-stage,可重复性降至1um,无漂移运动降至0.5um。先进的自动曝光软件包可确保曝光的准确性和可重复性。SEMITOOL ST 840采用了一系列自动化功能,包括自动对焦、高分辨率图像捕获、平坦度控制和OCR夹具识别。这些自动化系统确保平稳运行,并确保每次都能准确生成所需的模式。光刻胶资产连接到一个中央数据库,该数据库提供实时监测、报告和事件分析。该模型还提供了一个安全的在线环境,供客户访问内存数据库并检查其准确性。采用先进的自动化加速技术来减少暴露时间和过程复杂性。该设备的设计易于融入现有的光刻工艺中,并且具有自我监控和自我诊断的特点,使用户的维修和维护变得快速而简单。综上所述,ST 840光刻胶系统是一种先进的自动化单元,适用于处理多种材料。它采用自动对焦对准和OCR夹具识别等自动化功能构建,以使曝光和阵列显示可靠、准确。它的集中式数据库和自我监控能力进一步增加了它的便利性,而它的高扭矩x, y, z-stage使它能够以极高的精度和可重复性移动到基板周围的多个位置。
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