二手 SEMITOOL ST 840 #9000640 待售
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SEMITOOL ST 840是为自动湿蚀晶片制造应用而设计的光刻设备。它包括一个湿蚀刻系统、光源和化学品,用于在进一步的半导体工业过程之前进行涂层、开发、蚀刻和清洗晶片。光敏装置可精确控制制造过程的不同阶段,如沉积、蚀刻、曝光和蚀刻后清洗。这样可以确保晶片的制造具有很高的精度和均匀性。光刻机由一个单独的外壳组成,里面装有一个封闭的湿蚀刻工具、一个光源和一个化学浴。湿蚀资产最多可同时有八个晶片,并设有一个压力调节器、一个用于蚀刻的散装罐和一个用于加工晶片的纺纱室。光源可独立调节强度和波长,用于曝光晶片以去除所需的光致抗蚀剂层。化学浴为晶片的开发、蚀刻和后蚀刻清洁提供了受控环境。光刻胶模型设计为允许使用者自订其处理参数以符合其特定需求。可以将光源设置为可变强度和波长,同时可以调整蚀刻剂、浓度和温度以创建所需的蚀刻轮廓。此外,清洁工艺可以定制,包括喷雾、擦洗或冲洗操作,晶圆表面可以用自动光学设备监测。ST 840是一种坚固可靠的机器,旨在提供准确一致的晶圆制造结果。它具有多种功能,可确保满足各种处理需求。光刻胶系统是生产半导体、医疗器械、微电子等广泛应用的理想之选。
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