二手 SEMITOOL ST 860 #293604285 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 860
ID: 293604285
晶圆大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
SEMITOOL ST 860是由SEMITOOL生产的光敏剥离设备。它是一种先进的半自动化储罐系统,用于半导体制造中硅片光刻胶的带状和清洁。该储罐的设计能够高效、精确地从晶片的前后两侧剥离光致抗蚀剂。PST 860的储罐分为三个部分:预紧力、工艺和冲洗。预负载部分用于一次加载和处理多达六个晶片。工艺部分在一个独立的温度范围内运行,并包含一个专有的转鼓模块,用于条带和晶圆的清洁。温度范围可以调整以匹配晶片材料和工艺。该冲洗站用于确保晶片在剥离过程中完全清洁。ST 860还具有可编程逻辑控制器(PLC),该控制器用户友好,提供多种自定义程序以及数据跟踪功能。它提供了非常精确和可重复的结果,自动化消除了对晶片手动处理的需求。该装置使用蚀刻剂(化学品)以所需的速率溶解光致抗蚀剂。它可以处理湿蚀刻、干后原生燕麦,以及一般的剥离应用。此外,它符合半导体行业标准,为恶劣的环境条件而设计。SEMITOOL ST 860是半导体制造过程中光刻剥离的可靠、经济高效的解决方桉。它适用于广泛的应用程序,其自动化过程减少了人工错误、人工和成本,同时实现了最佳效果。该机器有SEMITOOL客户服务和耐久性保证作为后盾。
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