二手 SEMITOOL ST 860 #293622249 待售

SEMITOOL ST 860是一种最先进的光刻设备,旨在以最小的生产中断提供快速、可重复和可靠的工艺结果。该系统特别适合于液晶屏和MEMS生产等高端、大批量应用以及研发项目。ST 860的基本架构包括一个双托架自动履带、两个晶圆盒式磁带、两个托运人盒式磁带、两个高性能工艺室和两个高温平板烘烤模块。这两条轨道由嵌入单元中的单个微处理器控制器支持。这使操作员能够快速、轻松地从任何标准的Web浏览器对机器进行编程。此外,可选的独立热控制工具可确保精确、可重复的热处理结果。集成运动和驱动资产的设计为光刻应用提供了前所未有的准确性和可重复性。该模型由线性电动机、球形螺钉和线性编码器组成，便于定位，并采用先进的步进电动机技术进行平滑速度控制。这不仅确保了可重复的过程结果,而且还减少了从开始到结束的周期时间。该设备中的两个高性能工艺室旨在确保一致和可靠的工艺结果。这两个腔室能够接受三种不同尺寸的基板，并且对温度高度不敏感，在更广泛的工作温度范围内提供更一致的处理结果。两个高温平板烘烤模块采用先进的温度控制技术，以确保在被加工基板的整个表面上均匀分布温度。此外，SEMITOOL ST 860包括可选的传感器反馈和监控系统，允许对工艺参数和系统状态进行连续监控。这确保了过程参数的快速和轻松调整,实际上消除了操作员错误的任何风险。该单元还与SEMITOOL SPTSO自动化流程软件完全兼容,并提供广泛的后端报告功能。ST 860设计用于洁净室环境，按照严格的ISO 9001和SEMI C002标准制造。SEMITOOL ST 860以其先进的设计、坚固的构造和直观的操作，一定能满足要求最苛刻的光刻胶应用的需求。