二手 SEMITOOL ST-870 #9160073 待售

SEMITOOL ST-870光刻设备是一种先进的高精度晶片加工设备，设计用于晶片上的蚀刻或图案化集成电路。它被用于先进的IC制造过程，对集成电路性能至关重要。SEMITOOL ST 870是一种考虑到灵活性和可靠性的批量加工湿化学系统.高精度和重复性使其成为先进晶圆加工的理想工具。它在一个或多个晶片上同时执行光刻和蚀刻步骤，以精确和可重复性处理它们。ST-870具有两个5层流程站,可实现最大的流程吞吐量。双龙门设计方便了两臂的独立运动，使它们能够独立进行晶圆处理，并在站点之间进行协调。ST 870利用垂直安装的化学泵和分配装置，精确应用和监测加工中使用的化学品。内置的化学管理机器确保化学品的适当计量，而不论工艺参数如何。该工具还具有可调的抗蚀剂轨迹高度，以适应更复杂的光刻处理。SEMITOOL ST-870配备了计算机控制的热成像资产，允许在晶圆处理过程中进行精确的温度监测和反馈控制。该模型有助于保证晶圆加工中所需的可重复性和精度。此外，SEMITOOL ST 870内置了一个化学测量设备，以便对晶圆加工过程中使用的化学品进行持续监测和优化。该系统被封闭在一个保护外壳中，以包含晶圆加工过程中可能释放的任何气体或空气中的颗粒。ST-870旨在尽量减少环境污染并遵守严格的监管准则。此外,该单元还配备了一个可听警报单元,旨在提醒用户注意任何可能的错误或超出流程条件。总体而言，ST 870光刻机是一种先进的晶圆加工工具，提供卓越的精度和可重复性。它灵活的体系结构和创新的特点,允许快速和准确的晶圆处理.内置的安全特性和坚固的材料使其成为先进晶圆加工的安全可靠的资产。