二手 SEMITOOL ST-870 #9188736 待售

SEMITOOL ST-870是一款创新的光刻胶设备,可为大容量光刻胶应用提供卓越的性能。这种精密设计的半自动系统利用直接驱动主轴和卓越的对准能力来精确地操纵晶片以获得精确可重复的工艺结果。SEMITOOL ST 870提供了广泛的功能,例如自动旋转速度控制、先进的边缘夹持板、可堆叠的过程盒式磁带、四口袋和双通道化学分布等,从而改进了对旋转速度、流体输送和基板处理的控制。ST-870配备了晶片边缘清洁装置，提供令人难以置信的清洁基板，使质量更好的光刻效果。为了实现更好的基板对准，ST 870部署激光对准技术和一个板载非接触边缘传感器，准确识别晶圆边缘。这台机器还设有一个微型Rinser站，在该站分配液体显影剂，然后将其拆除，以增强光刻胶的覆盖率。Photoresist Tool提供了多种工艺盒式磁带、晶片边缘处理技术和工具,以优化光刻胶的覆盖范围并减轻工艺的可变性。SEMITOOL ST-870还拥有一个喷雾冲洗站，可在旋转基板上方0至300毫米处进行调节，以实现完全的冲洗覆盖，而无需对卡带进行冲洗。此外，该资产还配备了一个自动曝光控制模型和一个多激光瞄准设备，以确保对每个目标采用一致的曝光工具。SEMITOOL ST 870还配备了一套安全功能，如引擎盖外壳、联锁门、反向压力控制和地板平整器，以提供额外的安全性，以及带有视觉警报和电子架构的故障安全系统，以管理预防性维护警报。ST-870 Photoresist Unit是一种多功能工具,旨在满足大批量生产环境的特定需求。这台机器具有多种复杂的特性，高效可靠地加工光刻胶，获得了非常可靠的结果。