二手 SEMITOOL STI 260D #123183 待售

SEMITOOL STI 260D是一种化学蚀刻设备，设计用于光刻加工和小批量生产应用。该系统主要用于蚀刻和化学工艺，如RIE（反应性离子蚀刻）和CMP（化学机械平面化），可处理各种尺寸和类型的基板。它能够处理直径达300毫米、最大蚀刻速率高达1毫米/分钟的基板，并能处理各种光刻胶成分。STI 260D包括一个机械坚固的全铝真空室和一个内置的温度控制的背面冷却剂水龙头。该单元具有快速锁定、多面电极组件，允许快速、方便的电极交换，而无需打开腔室。三轴直线驱动电极机可以精确控制电极,最大限度地减少材料侵蚀,并提供出色的蚀刻均匀性。腔室还被可选的法拉第板密封，最大程度地减少了电荷累积，减少了模式失真，提高了蚀刻均匀性。SEMITOOL STI 260D的功能通过高级流程控制工具进一步增强,该工具提供了一系列功能,包括直观的用户界面、对流程参数的实时监控以及多程序内存资产,使操作员能够存储和召回特定的流程配置文件,以最大限度地提高吞吐量和效率。该模型提供了直观的过程-配方编程和可视化处理验证,允许用户实时监控蚀刻材料的进度和质量。STI 260D是一种高效可靠的光敏处理设备,具有符合低批量生产和研发要求的经济高效设计。该系统配有综合安全单元，可保护用户、操作员和流程环境，可提供高效、一致的效果，周转时间快。